Nordson Sonoscan AW300超聲掃描顯微鏡C-SAM
產(chǎn)品型號(hào)：AW 300 C-SAM
簡(jiǎn)介介紹：AWTM 系列產(chǎn)品是專門為晶圓檢測(cè)設(shè)計(jì)全自動(dòng)系統(tǒng)。適用于多種鍵合晶圓 (SOI、MEMS、LED、2.5D和3D)的檢測(cè)分析， 具有極高的靈敏度和產(chǎn)能。AW系列能夠檢測(cè)出兩晶片間直徑小于5微米的空洞以及晶片間薄如200埃的脫層。AW具有兩個(gè)或者多個(gè)掃描頭，一個(gè)緩沖工作臺(tái)，一個(gè)干燥室。它可以同時(shí)掃描兩個(gè)晶圓，并且同時(shí)對(duì)完成掃描的晶圓進(jìn)行干燥， 從而提高產(chǎn)能。
詳情介紹
Nordson Sonoscan AW300超聲掃描顯微鏡C-SAM主要特點(diǎn)
·Quantitative Dynamic ZTM量化動(dòng)態(tài)Z功能-對(duì)不平整的晶圓保持聚焦
·與SECS-II/GEM/SEMI300毫米標(biāo)準(zhǔn)兼容
·全自動(dòng)檢測(cè)100mm至300mm的晶圓
·瀑布式探頭提供非浸泡掃描
·圖像分析功能
·BOLTS標(biāo)準(zhǔn)接口適用于FOUPs, SMIF Pod, FOSB及開(kāi)放式晶圓盒
·自供水和抽真空組件(選項(xiàng))
